Abschlussarbeiten - Diplom
Elektrische Charakterisierung von Atomic Layer Deposition high-k-Dielektrika in MIM Strukturen
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Dudkevich, Dzmitry
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing Matthias Albert
- Dipl.-Phys. Thorsten Rößler
Weitere Betreuer
Msc. Rose
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Zugeordnete Forschungsprojekte
- Einsatz der Atomlagenabscheidung in der Nanotechnologie von Metallschichten
Schlagwörter
ALD, high-k-Dielektrika, MIM,CV-Messungen, IV-Messungen, Ti02 TiHfO
Berichtsjahr
2009