Abschlussarbeiten - Diplom
Show applicability of a new cross-flow reactor for atomic layer depostion by setting up and characterizing a process for thin insulation metal oxide films
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Conesa, Fernando
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Martin Knaut
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2009