Abschlussarbeiten - Diplom
Precursorevaluation für die Atomlagenabscheidung von Iridium-basierten dünnen Schichten
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Henke, Thomas
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Christoph Hoßbach
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Schlagwörter
ALD, Precursorevaluation
Berichtsjahr
2009