Abschlussarbeiten - Diplom
Entwurf piezoelektrischer Antriebe für mikromechanische Si-Komponenten
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Schulze, Robert
Betreuer
- Prof. Dr.-Ing. habil. Günther Pfeifer (i.R.)
Weitere Betreuer
Dr.-Ing. D. Billep (Fraunhofer ENAS)
Schlagwörter
piezoelektrische Antriebe, mikromechanische Si-Komponenten
Berichtsjahr
2009