Abschlussarbeiten - Diplom
Entwicklung von chemisch-mechanischen Oberflächenbearbeitungsprozessen in MOEM-Technologien
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Peschel, Marcel
Betreuer
- Dr. rer. nat. Ulrich Künzelmann
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Weitere Betreuer
Dr. A. Rieck, Dr. C. Kunath (Fraunhofer IPMS)
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Chemisch Mechanisches Planarisieren
Schlagwörter
Oberflächenbearbeitungsprozesse, MOEM-Technologie
Berichtsjahr
2010