Abschlussarbeiten - Diplom
Entwicklung und Charakterisierung eines Prozesses zur thermischen Atomlagenabscheidung von Ruthenium mit in-situ Messtechnik
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Junige, Marcel
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Martin Knaut
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Schlagwörter
Atomlagenabscheidung, Ruthenium
Berichtsjahr
2011