Abschlussarbeiten - Diplom
Anwendung der Nano-Imprint-Technolgie zur Strukturierung von Polymerschichten im Rahmen der Damascene-Technologie
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Killge, Sebastian
Betreuer
- Dipl.-Ing. Jian He
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Karola Richter
Schlagwörter
Nanoimprint, Damascene-Technologie
Berichtsjahr
2012