Abschlussarbeiten - Diplom
Beeinflussung funktionaler Schichteigenschaften bei der thermischen Atomlagenabscheidung von Tantalnitrid sowie Ruthenium
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Walther, Tillmann
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dipl.-Ing. Marcel Junige
- Dr.-Ing. Christoph Klaus
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2014