Abschlussarbeiten - Diplom
Raman-Spektroskopie zur Messung lokaler Verzerrungen an Si-Schichtstrukturen
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Georgi, C.
Betreuer
- Dr. rer. nat. Christian Wenzel
Weitere Betreuer
Dr. M. Hecker - AMD Dresden
Berichtsjahr
2006