Abschlussarbeiten - Diplom
Herstellung und Charakterisierung von TaN-Barrieren auf ALD Basis
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Wojcik, H.
Betreuer
- Dr.-Ing Matthias Albert
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2006