Abschlussarbeiten - Diplom
Entwicklung eines thermischen AlTiO ALD Prozesses mit Hilfe von in-situ Messtechnik
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Krause, Martin
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Martin Knaut
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Schlagwörter
Atomlagenabscheidung, Schichtwachstum, AlTiO-Schichten
Berichtsjahr
2010