Abschlussarbeiten - Diplom
Thema Herstellung, Charakterisierung und Vergleich von Antihaftschichten auf Si, SiO2 und Chromoberflächen fur das UV-Nanoimprinting
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Kleiner, Anja
Betreuer
- Prof. Dr.-Ing. habil. Wolf-Joachim Fischer
- Dr. rer.nat. Barbara Adolphi
- Dr.-Ing. Robert Kirchner
Schlagwörter
UV-Nanoimprint-Lithografie, FDTS, Optool DSX
Berichtsjahr
2010