Abschlussarbeiten - Diplom
Untersuchung der Anwendbarkeit sowie Charakterisierung der UV basierten Nanoimprinttechnik mit nichttransparenten Stempeln anhand der Polymerdirektstrukturierung und des Lift-Off-Prozesses
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Teng, Lichao
Betreuer
- Prof. Dr.-Ing. habil. Wolf-Joachim Fischer
- Dr.-Ing. Robert Kirchner
- Dr.-Ing. Matthias Plötner
Schlagwörter
Nanoimprinttechnik, Polymerdirektstrukturierung, Lift-Off-Prozesses
Berichtsjahr
2010