Abschlussarbeiten - Diplom
Entwicklung eines Verfahrens zur Dickenbestimmung von Siliziumdioxid- und Silizium-Schichten mittels in-situ-Infrarotspektroskopie
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Zhi, Na
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dipl.-Ing. Henrik Schumacher
Schlagwörter
Siliziumdioxid- und Silizium-Schichten, in-situ-Infrarotspektroskopie, FTIR, ATR
Berichtsjahr
2011