Abschlussarbeiten - Diplom
Untersuchungen zur plasmachemischen Abscheidung teflonartiger Polymerschichten, deren Charakterisierung und Modifizierung
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Xiao, Hao
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dipl.-Ing. Jian He
- Dr.-Ing. Karola Richter
Schlagwörter
plasmachemische Abscheidung, teflonartige Polymerschichten, PDMS, PECVD
Berichtsjahr
2011