Abschlussarbeiten - Diplom
Vergleich der Barrierewirkung von PVD, PECVD und PEALD-Ruthenium-Tantal-Stickstoffverbindungen gegen CU-Diffusion auf Basis elektrischer Messungen
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Lehninger, David
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Henry Wojcik
Schlagwörter
PVD, PECVD, PEALD Ru-TaNC, MTTF BTS-TDDB, TVS, Cu-Diffusionsbarriere
Berichtsjahr
2011