Abschlussarbeiten - Diplom
Atomlagenabscheidung von Iridium und Iridiumoxid
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Schmiegel, Clemens
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Christoph Hoßbach
Schlagwörter
MIM-Stuktur, ALD, Schichtcharakterisierung
Berichtsjahr
2011