Abschlussarbeiten - Diplom
Designoptimierung und Charakterisierung eines mittels Elektronenstrahldirektschreibens hergestellten Siliziumstempels zur Fertigung von plasmonisch aktiven Nanostrukturen
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Kaiser, Michael
Betreuer
- Prof. Dr.-Ing. habil. Wolf-Joachim Fischer
Weitere Betreuer
Dr. Chr. Hohle (Fh IPMS)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2014