Abschlussarbeiten - Master
Ultra-low k dielectrics and plasma damage control for advanced technology nodes (10 nm and below)
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Olawumi, Teju Tunde
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Weitere Betreuer
F. Lazzarino (IMEC), M. Baklanov (IMEC)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2014