Abschlussarbeiten - Master
Atomlagenabscheidung von Silizium-basierten dünnen Schichten
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Bönhardt, Sascha
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Christoph Hoßbach
Schlagwörter
ALD, Siliziumschichten
Berichtsjahr
2010