Abschlussarbeiten - Master
Fabrication of Through Silicon Vias by DRIE of Silicon onto an Etch Stop Layer and Electrical Characterization of Insulation, Barrier and Seed Layer
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Schulze, Frank Michael
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dipl.-Ing. Sebastian Killge
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2013