Abschlussarbeiten - Master
Herstellung und Charakterisierung von Barrieren für Kupfer-Leitbahnen auf der Basis von Ta und dotiertem Kupfer
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Schwiegel, Benjamin
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.-Ing. Christoph Klaus
Weitere Betreuer
Dr. Norbert Urbansky (Infineon Dresden)
Schlagwörter
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Berichtsjahr
2013