Abschlussarbeiten - Master
Optimierung eingebetteter, in-situ Bor-dotierter, SiGe-Schichten für pMOSFET Anwendungen
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Ge, Yang
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Weitere Betreuer
Kai Wurster (Globalfoundries)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2013