Abschlussarbeiten - Master
Elektronenstrahl-induziertes Trockenätzen im Druckbereich <10−3 mbar
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Bodenstein, Elisabeth
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Weitere Betreuer
Dr. D. Temmler (FEP)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2014