Abschlussarbeiten - Master
Elektrokinetische Untersuchungen zur elektrochemischen Kupferabscheidung auf Ruthenium-ALD-Schichten
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Wang, Shuo
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- Dr.rer.nat. Volker Neumann
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2014