Abschlussarbeiten - Master
Characterization of ALD-grown high-k Dielectric Materials Using MOSCAP and MOSFET Structures
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Gebrekidan, Amanuel Amare
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
- M.Sc. Felix Winkler
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2015