Abschlussarbeiten - Master
Characterization and optimization of Silicon Oxinitride (SiON) produced on a new generation plasma chamber
Art der Abschlussarbeit
Master
Autoren
- Gill, Rizwan
Betreuer
- Prof. Dr. rer. nat. Johann Wolfgang Bartha
Weitere Betreuer
R. Hayn, Dr. W. Kümer (Global Foundries)
Schlagwörter
-
Berichtsjahr
2015