Laborausstat­tung

BEARBEITUNGANLAGEN

• 5-Achs-CNC-Plasmajetanlage für Hochrateätzverfahren
• 3-Achs-CNC-Plasmajetanlage für Feinkorrekturen
• 3-Achs-CNC-Plasmajetanlage für Niederdruckanwendungen
• 4-Achs-CNC-Plasmajetanlage für Plasmapolitur
• 5-Achs-CNC-Ionenstrahlanlage für Formkorrektur
• 3-Achs-CNC-Ionenstrahlanlage für Formkorrektur
• Ionenstrahlanlage für reaktive Ionenstrahlprozesse

OBERFLÄCHENMESSTECHNIK

• Aspheric Stitching Interferometer, QED
• Optisches Profilometer, LuphoScan
• Optisches Profilometer, Cyberscan
• Taktiles Profilometer, Ametek
• AFM, Semilab