Plasmakorrektur einer Zylinderlinse © IOM

Forschung an der Professur Ultrapräzisi­onsbearbeitung

An der Professur werden Mechanismen der Wechselwirkung chemisch reaktiver Atmosphärendruck-Plasmajets sowie niederenergetischer Ionenstrahlen mit Oberflächen grundlegend untersucht. Daraus werden deterministische Bearbeitungstechnologien zur ultrapräzisen Formgebung von Oberflächen bis hin zu industrietauglichen Fertigungsketten entwickelt. Hauptanwendungsfeld der Technologien ist die Herstellung komplexer Oberflächenformen wie Asphären und Freiformflächen für Ultrapräzisionsoptiken, die mit Fertigungstoleranzen von wenigen Nanometern gefertigt werden müssen.

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Ionenstrahlbearbeitung © Arnold