Veröffentlichungen 2009
Nanoimprinting: Basics and Applications in Mircosystems Technology
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Vortrag, Silicon Saxony e.V. - 3. Colloquium Halbleitertechnologie und Mikroelektronik
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2009
Referiert
Nein
Berichtsjahr
2009
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