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Finn, A. ; Kirchner, R. ; Landgraf, R. ; Hiess, A. ; Thrun, X. ; Nüske, L. ; Fischer, W.-J.

Stamp-and-Repeat UV Direct Patterning using Polymer Molds

Vortrag

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

10th Int. Workshop on High Aspect Ratio Micro and Nano System Technology (HARMNST 2013), Berlin, 2013

Schlagwörter

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2013

Referiert

Nein

Open Access

Nein

Berichtsjahr

2013

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