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Leszczynska, B. ; Strobel, C. ; Leszczynski, S. ; Albert, M. ; Bartha, J.W. ; Stephan, U. ; Kuske, J.
Adaptation of PECVD System for Very High Excitation Frequencies over 81.36 MHz
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of 28th European Photovoltaic Solar Energy Conference and Exhibition, Paris, Frankreich, 30.09.-04.10.2013
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2013
Seiten
2568-2572
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2013
Export
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Philipp Wenskus
Last modified: Feb 07, 2018