Conferences

Killge, S. ; Charania, S. ; Richter, K. ; Bartha, J.W.

Towards the realization of optical interconnets on Si interposer

Typ der Veröffentlichung

Konferenzbeitrag

Veröffentlicht in

Interconnect Technology Conference / Advanced Metallization Conference (IITC/AMC), 2016 IEEE International, 23-26 May 2016

Schlagwörter

Optical interconnects, TSV-Waveguide, Waveguide by imprint lithography

Jahrgang/Erscheinungsjahr

2016

Referiert

Open Access

Nein

ISBN

978-1-5090-0386-0

ISSN

23806338

Berichtsjahr

2016

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