Konferenzen
Influence of Solvent Removal and UV-exposure on Feature Shrinkage in UV-NIL Direct Pattering
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. 11th Int. Conf. on Nanoimprint and Nanorprint Technology, 2012
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2012
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