Konferenzen
Cleaning Defects of Soft UV-Nanoimprint Molds for High Aspect-Ratio Features
Poster
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
56th Int. Conf. on Electron, Ion and Photon Beams (EIPBN 2012)
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2012
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2012
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