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In-situ analysis of ultra thin ALD capacitor stacks for novel applications
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceeding of AVS ALD Conference 2010, Seoul, Korea
Schlagwörter
ALD, in-situ Analytics, XPS, QCM, QMS, SE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2010
Referiert
Ja
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2010
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