Veröffentlichungen 2006
Large scale, drift free monocrystalline silicon micromirror arrays made by wafer bonding
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2006
Vermerk
keiner
Band/Vol.
6114
Seiten
611402-1-611402-7
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
www.spie.org
Berichtsjahr
2006
Export
...zur FIS-Datenbank-Recherche für das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik