Veröffentlichungen 2006
A large deflection translatory actuator for optical path length modulation
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. of SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2006
Vermerk
keiner
Band/Vol.
6181
Seiten
618104-1-618104-8
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
www.spie.org/press
Berichtsjahr
2006
Export
...zur FIS-Datenbank-Recherche für das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik