Veröffentlichungen 2006
Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proceedings of SPIE
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2006
Vermerk
keiner
Band/Vol.
6114
Seiten
61140J-1-61140J-12
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
www.spie.org/press
Berichtsjahr
2006
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