Veröffentlichungen 2007
Atomlagenabscheidung (ALD) mit der Clusteranlage FHR – ALD 300
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Silicon Saxony Tag, Dresden
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Band/Vol.
ohne Abdruck
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Zugeordnete Forschungsschwerpunkte
- * Atomic Layer Deposition (ALD)
Berichtsjahr
2007
Export
...zur FIS-Datenbank-Recherche für das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik