Publications 2008
Atomlagenabscheidung als Werkzeug für die Nanotechnologie
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Vakuum in der Forschung und Praxis
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Band/Vol.
20(2008)1
Seiten
7-10
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
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