Veröffentlichungen 2008
Planarity optimization of spatial light modulators
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Smart System Integration 2008: 2nd European Conference and Exhibition on Integration Issues of Miniaturized Systems
Verlag
VDE Verlag Berlin
Verlagsort
Barcelona (Spain)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2008
Seiten
415-417
Referiert
Ja
ISBN
978-3-8007-3081-0
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2008
Export
...zur FIS-Datenbank-Recherche für das Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik