Veröffentlichungen 2011
UV-Nanoimprinting Using Non-Transparent Molds and Non-Transparent Substrates
Typ der Veröffentlichung
Zeitschriftenaufsatz
Veröffentlicht in
Microelectronic Engineering, 88(8):20042008, August 2011
Schlagwörter
Nanoimprinting
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Seiten
1-5
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Url/Urn/Doi
DOI 10.1016/j.mee.2011.01.066
Berichtsjahr
2011
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