Veröffentlichungen 2011
Stamp-and-Repeat UVImprinting of Spin-Coated Films: Pre-Exposure and Imprint Defects
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. 37th Int. Conf. on Micro and Nano Engineering 2011 (MNE2011),
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Referiert
Nein
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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