Publications 2011
Degradation of Perfluorotrichlorosilane Antisticking Layers and the Impact on Bonded UV-Nanoimprint Molds, Mold Cleaning, and UV-Nanoimprinting
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Proc. 23rd Internat. Microprocesses and Nanotechnology Conf., Kokura/Fukuoka, 09.-12.11
Schlagwörter
-
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2011
Band/Vol.
Abstracts 12D-11-99
Referiert
Ja
Open Access
Nein
Berichtsjahr
2011
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