Gemeinsame Forschungsaktivitäten der TU Dresden (IHM) und der NaMLab gGmbH
Gebäude der NaMLab gGmbH neben dem Reinraumgebäude am MIERDEL-Bau
Am 15.10.2007 wurde das NaMLab feierlich eingeweiht. Bis zum Jahresende konnte ein großer Teil der technischen Einrichtungen/Anlagen fertig gestellt werden. Parallel dazu wurde mit der Anlageninstallation begonnen. Diese Anlagen dienen insbesondere zur Abscheidung von Isolationsmaterialien mittels MBE, Magnetronsputtern und ALD. Darüber hinaus werden entsprechende Ausrüstungen für die Materialcharakterisierung aufgestellt.
Das IHM hat zusammen mit dem NaMLab eine technologische Kette zur Herstellung von Teststrukturen zum Materialscreening von Isolatormaterialien mit einer möglichst hohen relativen Dielektrizitätszahl (high-k), die für den Einsatz in mikroelektronischen Bauelementen geeignet sind, aufgebaut. Dazu wurde ein vom BMBF gefördertes Forschungsprojekt initiiert (s. Förderprojekt KONDOR).
Forschungsschwerpunkte
Die NaMLab gGmbH entwickelt Herstellungsverfahren und Charakterisierungsmethoden für nanoelektronische Materialien, die neben der Mikroelektronik auch in anderen Bereichen, wie beispielsweise in der Photovoltaik, Anwendung finden. Erste Forschungsschwerpunkte waren die Untersuchung von geeigneten Materialien für fortgeschrittene Silizium-Technologien. Das sind insbesondere:
- Forschungsaktivitäten zu neuen Materialien als Ersatz für SiO2 als Dielektrikum,
- den zugehörigen Metallelektroden sowie
- Grundlagenuntersuchungen zur Integration von Materialien bzw. Nanostrukturen in Silizium, die als Ersatz für einen konventionellen Transistorkanal in Frage kommen.