Publikationen der Professur für Halbleitertech­nik

201 bis 210 von 284 Einträgen

Keil, K.; Hauptmann, M.; Kretz, J.; Constancias, C.; Pain, L.; Bartha, J.W.: Resolution and total blur: Correlation and focus dependencies in e-beam lithography. In: J. Vac. Sci. Technol. B27 (2009), Nr. 6, S. 2722–2725

Rose, M.; Niinistö, J.; Michalowski, P.; Gerlich, L.; Wilde, L.; Endler, I.; Bartha, J.W.: Atomic Layer Deposition of Titanium Dioxide Thin Films from Cp*Ti(OMe)3. In: J. Phys. Chem. C 2009 113 (2009), S. 21825–21830

Strehle, S.; Wetzig, K.; Bartha, J.W.: Electrical properties of electroplated Cu(Ag) thin films. In: Thin Solid Films 517 (2009), S. 3320–3325

Künzelmann, U.: Herstellung und Anwendung von mikrostrukturierten  Siliciumwafern als Reflexionselemente für die Untersuchung chemisch-physikalischer Oberflächenprozesse mittels ATR-FTIR-Spektroskopie. In: 14. AKES-Seminar, 06.02.2009 (2009)

Künzelmann, U.; Schumacher, H.; Bartha, J.W.: Investigation of Surface Processes by ATR-FTIR Spectroscopy at Microstructured Silicon Wafers. In: 23rd CMP User Meeting, 09.10.2009 (2009)

Schumacher, H. ; Künzelmann, U.; Bartha, J.W.: Einsatz spezieller Koppelstrukturen für die FT-IR-spektroskopische Schichtcharakterisierung an Si-Wafern mittels abgeschwächter Totalreflexion. In: ANAKON, 17.-20.03.2009 (Kurzreferate) (2009), S. 288

Wenzel, C.; Bartha, J.W.; Bublik, V.T.; Shcherbachev, K.D.; Novodvorsky, O.A.; Gorbatenko, L.S.; Panchenko, V.Ya.; Khramova, O.D.; Cherebilo, Ye.A.: Optical and Structural Characteristics of Ga-doped ZnO Films. In: Semiconductors Vol. 43, Nr. 4 (2009), S. 419–424

Strobel, C.: Dynamische VHF-PECVD für die großflächige Abscheidung von amorphen und mikrokristallinem Silizium auf Glas- und Foliensubstraten. In: Silicon Saxony Day, Dresden (2009)

Hossbach, C.; Teichert, S.; Thomas, J.; Wilde, L.; Wojcik, H.; Schmidt, D.; Adolphi, B.; Bertram, M.; Muhle, U.; Albert, A. ; Menzel, S.; Hintze, B.; Bartha, J.W.: Properties of Plasma-Enhanced Atomic Layer Depostion-Grown Tantalum Carbonitrade Thin Films. In: J. Electrochem. Soc. 156 (2009), Nr. H852, DOI: 10.1149/1.3205457

Strobel, C.; Zimmermann, T.; Albert, M.; Bartha, J.W.; Kuske, J.: Productivity potential of an inline deposition system for amorphous and microcrysalline silicon solar cells. In: Solar Energy Materials and Solar Cells (2009), S. 1598–1607

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Martin Knaut
Letzte Änderung: 05.10.2022