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Oberflächencharakterisierung

Zur Abbildung der Oberflächentopographie steht ein hochauflösendes Rasterelektronenmikrokop (REM) mit kalter Feldemissionskathode zur Verfügung. In einem weiteren analytischen REM erfolgt die Analytik von oberflächennahen Mikrobereichen hinsichtlich quantitativer Bestimmung der chemischen Zusammensetzung mit einem modernen Energiedispersiven Röntenspektrometer (EDX) mit höchster Energieauflösung.

Die Röntgenphotoelektronenspektroskopie (XPS) und die Augerelektronenspektroskopie (AES) erlaubt eine Charakterisierung weniger Atomlagen bis hin zu dünnen Schichten. Dies beinhaltet die Bestimmung der chemischen Zusammensetzung, der Bindungsenergie und damit auch die Unterscheidung verschiedener Oxidationsstufen an der Probenoberfläche. Dabei ermöglicht die vorhandene Argon-Ionen-Sputterquelle neben der Abtragung von Kontaminationsschichten auf der Oberfläche auch eine Tiefenprofilanalyse.

Bereich Materialcharakterisierung

• Hochauflösende Abbildung von Oberflächen mittels (kalter) Feldemissions-Rasterelektronenmikroskopie (FE-REM)
• Elektronenmikroskopische Direktabbildung von elektrisch nichtleitenden Oberflächen (Polymere, Hydrogele, Lackresiste usw.) mittels Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskopie (LV-REM),
• Elektronenstrahl-Mikroanalyse an oberflächennahen Mikrobereichen mittels Energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX) mit höchster Energieauflösung (123 eV bei Mn-Kα)
• Charakterisierung von Oberflächen mittels Röntgen-Photoelektronenspektroskopie (XPS) hinsichtlich chemischer Zusammensetzung, Bindungsenergie und Oxidationszustand

Equipment

• Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop Hitachi S-4700
• Niedervakuum-Rasterelektronenmikroskop JEOL JSM-6610 LV (LaB₆-Kathode) ausgestattet mit energiedispersiven Röntgenspektrometer Bruker X-Flash | 10 Silicon Drift Detector (SDD)
• Röntgen-Photoelektronenspektrometer Physical Electronics PHI ESCA 5700

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Wissenschaftlicher Mitarbeiter

Name

Herr Dr. rer. nat. Enrico Langer

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Organisationsname

Professur für Mikrosystemtechnik

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01187 Dresden

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