Students final theses
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YU Meiqi: Investigation of new semiconductor devices, structures and materials with high-resolution electron tomography. Dresden, Technische Universität Dresden, Diplomarbeit, 2021 |
Reichel, Sandra: Veränderung technischer Aerosole in Transportprozessen. Dresden, Technische Universität Dresden, diploma thesis, 2021 |
Hizal, Öykü: Modellierung der Penetration von Aerosolpartikeln in Strömungskanälen. Dresden, Technische Universität Dresden, Bachelor thesis, 2021 |
Freudenberger, Maximilian: Analyse des Staubungsvermögens von Pigmentpulvern. Dresden, Technische Universität Dresden, diploma thesis, 2021 |
Limaye, Rewati: Performance of nanosized photocatalysts for wastewater treatment with fixed-bed photocatalytic membrane reactors. Dresden, Technische Universität Dresden, Master thesis, 2020 |
Hermsdorf, Ronald: Prozessverhalten von Festbett-Photokatalysemembran-Reaktoren. Dresden, Technische Universität Dresden, Bachelor thesis, 2020 |
Herstellung von amorphem lndium-Gallium-Zink-Oxid mittels Flammensprühpyrolyse für die Anwendung in Dünnschicht-Transistoren
Art der Abschlussarbeit
Diplomarbeit
Autoren
- Domaschke, Maximilian
Betreuer
- Dr.-Ing. Lars Hillemann
- apl. Prof. Dr.-Ing. habil. Michael Stintz
Weitere Betreuer
Dr. rer. nat René König (BASF SE)
Abstract
Dünnschicht-Transistoren (TFTs) sind ein wesentlicher Bestandteil von modernen Flachbildschirmen und bestimmen einen Großteil deren Leistungsfähigkeit. Die elektrischen
Eigenschaften der gegenwärtigen, auf amorphem Silicium basierenden Technologie sind
dabei für neue Anwendunqen wie besonders hochauflösende oder flexible Displays nicht
ausreichend. Amorphes lndium-Gallium-Zink-Oxid (a-IGZO) als transparenter, oxydischer
Halbleiter stellt eine Alternative mit überlegenen Eigenschaften dar. Die hohen Fertigungskosten
stehen einer weiteren Verbreitung des Matenals jedoch entgegen. Die Flammensprühpyrolyse (FSP) als einstufiges Verfahren zur Herstellung auch mischoxydischer, nanopartikulärer Materialien kann dabei eine kostengünstige Alternative darstellen. Bei ihr werden Salze der gewünschten Metalle in organischen Lösungsmitteln vorgelegt und nach Überführung in ein Aerosol in einem Flammenreaktor zu den entsprechenden Metalloxiden umgesetzt. Ein nanopartikuläres Pulver wird erhalten und an Filtern abgeschieden. Die Weiterverarbeitung dieses Materials zu TFTs kann dabei in Suspension erfolgen. Für die Herstellungsvariante FSP soll gezeigt werden, ob die Synthese von morphologisch wie auch hinsichtlich der Zusammensetzung homogenem a-IGZO-Material
realisierbar ist.
Eigenschaften der gegenwärtigen, auf amorphem Silicium basierenden Technologie sind
dabei für neue Anwendunqen wie besonders hochauflösende oder flexible Displays nicht
ausreichend. Amorphes lndium-Gallium-Zink-Oxid (a-IGZO) als transparenter, oxydischer
Halbleiter stellt eine Alternative mit überlegenen Eigenschaften dar. Die hohen Fertigungskosten
stehen einer weiteren Verbreitung des Matenals jedoch entgegen. Die Flammensprühpyrolyse (FSP) als einstufiges Verfahren zur Herstellung auch mischoxydischer, nanopartikulärer Materialien kann dabei eine kostengünstige Alternative darstellen. Bei ihr werden Salze der gewünschten Metalle in organischen Lösungsmitteln vorgelegt und nach Überführung in ein Aerosol in einem Flammenreaktor zu den entsprechenden Metalloxiden umgesetzt. Ein nanopartikuläres Pulver wird erhalten und an Filtern abgeschieden. Die Weiterverarbeitung dieses Materials zu TFTs kann dabei in Suspension erfolgen. Für die Herstellungsvariante FSP soll gezeigt werden, ob die Synthese von morphologisch wie auch hinsichtlich der Zusammensetzung homogenem a-IGZO-Material
realisierbar ist.
Schlagwörter
Flammenpyrolyse, IGZO
Berichtsjahr
2014