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Ternary Ta(Al)N ALD Films using Tantalum Precursors and TMA as additional Reducing Agent
Typ der Veröffentlichung
Konferenzbeitrag
Veröffentlicht in
Agent. Proc. AVS ALD Conf., San Diego (US)
Jahrgang/Erscheinungsjahr
2007
Band/Vol.
avail, online
Referiert
Nein
Url/Urn/Doi
http://
Berichtsjahr
2007
Export
Kategorien
Journal | Konferenzen | Bücher | Patente